EQ-99X, EQ-77和EQ-400光譜范圍為170nm 到2400nm，EQ-99XFC光譜范圍為 190nm 到2400nm，光譜范圍的不同由光源燈泡和光窗材質決定。下圖中為LDLS與傳統氙燈、氘燈鹵素燈的光譜強度分布曲線對比。

LDLS針對高亮度方面進行了優化，LDLS光源的功率從一個100μm左右的等離子體發出,所以LDLS光源可以在較小的輻射功率發出高亮度（spectral radiance - mwatts/nm/mm²/sr）的光。幾種LDLS光源輻射功率和亮度選擇如下：

EQ-99X光輻射功率0.5W，光譜輻射強度10 mwatts/nm/mm²/sr；

EQ-77光輻射功率2W，光譜輻射強度40 mwatts/nm/mm²/sr；

EQ-400光輻射功率15W，光譜輻射強度100 mwatts/nm/mm²/sr。

EQ-99XFC使用FC接頭連接，為了保證產品的穩定輸出，我們推薦使用原廠的光纖進行連接，目前我們可以提供不同纖芯直徑的FC-FC和FC-SMA光纖供選擇。

EQ-99XFC輸出光功率取決于光纖的纖芯直徑和光纖對波長的選擇性，使用標準光纖輸出的光功率如下：

600μm core fiber, 0.22NA; ~200 mwatts (broadband)

455μm core fiber, 0.22NA; ~150 mwatts (broadband)

230μm core fiber, 0.22NA; ~70 mwatts (broadband)

115μm core fiber, 0.22NA; ~25 mwatts (broadband)

50μm core fiber, 0.22NA; ~5 mwatts (broadband)

9μm core single mode fiber; ~40 μwatts (broadband)

光譜輻射強度取決于輸出光纖纖芯直徑、波長選擇性。230μm纖芯直徑，0.22NA，長度1m的標準光纖輸出，光譜輻射強度圖如下所示：

目前，EQ-99X 和 EQ-99XFC的控制器和光源燈室之間的光纖長度我們只提供1m的長度，其他長度暫時不能提供。

我們可以提供性能最好、抗老化的不同纖芯的光纖，目前光纖長度有1m和2m兩種選擇。我們不建議客戶選用更長長度的輸出光纖，因為即使是最好的光纖也會吸收深紫外的光。

LDLS光源等離子體空間位置由激發激光聚焦點精準控制，LDLS產品等離子體位置在x,y,z三個方向上的分布偏差均小于0.5μm。

EQ-99系列和EQ-77系列光源的燈泡壽命均在9000小時以上。另外，光源工作1000小時以后，燈泡的輸出功率只會衰減1%~2%。

LDLS光源中的激發激光均為特殊定制的半導體激光器，這些激光器的波長均在1μm左右。 EQ-99系列光源中激發激光器輸出功率在20W左右，EQ-77系列光源中激發激光器輸出功率在50W左右，EQ-400系列光源中激發激光器輸出功率在400W左右；激發激光器的功率決定了整個光源的輸出功率。

在正常實驗室環境中使用時，EQ-99X和EQ-99XFC燈室溫度約為55℃，最終溫度會隨著使用環境的變化略有區別。

LDLS光源產生大量深紫外光，200nm以下的深紫外光會使氧氣轉化為臭氧，同時臭氧會吸收240nm~270nm的深紫外光。因此，如需使用170nm~270nm的深紫外光，光源在使用時需要充入純凈氮氣。同時，充入氮氣也可以防止燈泡被空氣中有機蒸汽污染。 為了保證光學器件的潔凈，氮氣需要滿足6級潔凈度，充入氮氣的氣壓需要保持在0.14 MPa。