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1.安裝前的準(zhǔn)備

之后將USB線接到計(jì)算機(jī)的USB接口上，X15213打開電源開關(guān)之后，計(jì)算機(jī)可以識(shí)別到USB。

1.1 計(jì)算機(jī)及配件準(zhǔn)備

空間光調(diào)制器（SLM）是被計(jì)算機(jī)識(shí)別為一臺(tái)普通顯示器來控制的，計(jì)算機(jī)將相位"顯示"到SLM上（所顯示的圖片每一個(gè)像素的灰度值[一般為0~255]對(duì)應(yīng)著相應(yīng)液晶單元的相位調(diào)制值[0~2π]）， 所以需要計(jì)算機(jī)除了連接顯示器的接口之外，還有空余的DVI視頻接口。

產(chǎn)品設(shè)計(jì)的接口是DVI接口，建議使用原裝顯卡帶DVI接口的臺(tái)式機(jī)。也可以轉(zhuǎn)接為其他接口，（但是由于其他接口沒有鎖緊裝置，可能會(huì)導(dǎo)致連接不穩(wěn)定，碰到接線時(shí)有小概率斷開連接導(dǎo)致儀器重啟）。

計(jì)算機(jī)常見的視頻接口類型有DVI、HDMI和VGA.

選項(xiàng)一：帶有DVI接口的計(jì)算機(jī)可以直接使用;

選項(xiàng)二： 對(duì)于帶有HDMI接口的計(jì)算機(jī)，需要配備一個(gè)HDMI轉(zhuǎn)DVI的轉(zhuǎn)接頭；而VGA不是數(shù)字傳輸方式，是模擬傳輸方式，所以使用VGA接口和相關(guān)轉(zhuǎn)接頭，SLM會(huì)不工作。

選項(xiàng)三：如果計(jì)算機(jī)上只有VGA接口，可以配備一個(gè)支持DVI接口的外接顯卡，插在計(jì)算機(jī)的USB口上。（聯(lián)系工程師獲取推薦型號(hào)）

1.2 光路準(zhǔn)備

1.2.1 對(duì)于簡(jiǎn)單驗(yàn)收SLM，暫時(shí)沒有使用計(jì)劃的用戶，可以不用準(zhǔn)備光路

1.2.2 對(duì)于想要簡(jiǎn)單搭建光路測(cè)試儀器調(diào)制效果或者學(xué)習(xí)儀器使用方法的用戶，可以準(zhǔn)備簡(jiǎn)單的光路，所需元件有——一臺(tái)激光器、擴(kuò)束裝置（例如透鏡組，將光斑大小擴(kuò)束到所需調(diào)制的大小且滿足SLM光強(qiáng)閾值的大小）、偏振調(diào)節(jié)裝置、激光觀察卡或相機(jī)（可見光波段根據(jù)實(shí)際情況可以用光屏代替）。

1.2.3 對(duì)于有明確測(cè)試目的和內(nèi)容的客戶，請(qǐng)根據(jù)實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)搭建好SLM的前置光路，準(zhǔn)備好所需元件，做好實(shí)驗(yàn)計(jì)劃。

1.3 注意事項(xiàng)

1.3.1 通用注意事項(xiàng)

SLM為精密儀器，請(qǐng)輕拿輕放，小心操作。使用環(huán)境請(qǐng)避免震動(dòng)。謹(jǐn)防異物或液體進(jìn)入儀器。

不要觸碰或劃傷液晶窗口，如果液晶窗口在使用過程中落上灰塵影響實(shí)驗(yàn)效果，請(qǐng)用含有乙醇的擦鏡紙清潔。（不影響實(shí)驗(yàn)效果的情況下不建議清潔液晶窗口。）

整機(jī)型號(hào)（X15213系列）的電源線需要接地，否則會(huì)有漏電危險(xiǎn)！不要遮擋控制箱的通風(fēng)散熱口，在接通電源之前，請(qǐng)先確認(rèn)開關(guān)處于關(guān)閉狀態(tài)。關(guān)機(jī)時(shí)請(qǐng)先關(guān)閉開關(guān)，再斷開任何連接線。

請(qǐng)小心操作FPC線，不要彎折，謹(jǐn)防利物劃傷。

1.3.2 光強(qiáng)注意事項(xiàng)

當(dāng)心被SLM反射、衍射的激光，防止激光傷害。請(qǐng)采取必要的保護(hù)措施，例如遮擋光斑或佩戴激光護(hù)目鏡。

禁止使用超過SLM光強(qiáng)閾值承受范圍的激光直接照射液晶窗口，脈沖激光需要注意平均功率密度閾值和峰值功率閾值。一般要求-01，-07，-08系列平均功率密度小于1W/cm^2; 其他介質(zhì)鏡型號(hào)要求小于3W/cm^2; -03系列小于40.7W/cm^2; 水冷系列（R/L）可以在水冷的情況下承受100W或更強(qiáng)的光強(qiáng)。特定型號(hào)在特定激光器下的閾值有可能高于上述一般值，且脈沖激光還需考慮峰值功率密度。

具體型號(hào)的閾值參數(shù)請(qǐng)見：

http://share.hamamatsu.com.cn/specialDetail/730.html

您也可以將您的激光器波長、平均功率、重復(fù)頻率、脈寬、單脈沖能量等參數(shù)（也可直接發(fā)送datasheet）發(fā)送至qx@hamamatsu.com.cn咨詢。

1.3.3 水冷型號(hào)注意事項(xiàng)

最大水壓不得超過0.3MPa, 推薦使用25℃的軟水，使用時(shí)保持流速在0.5L/min以上（水冷管外徑φ6mm，內(nèi)徑φ4mm）。（如果使用硬水，則可能會(huì)沉淀出礦物質(zhì)，并導(dǎo)致流道堵塞。）

不推薦使用去離子水，熱沉為銅制，去離子水會(huì)溶解銅，長時(shí)間使用會(huì)造成損傷。

2.到貨拆箱配件清單

3.安裝和驗(yàn)收方法

3.1 硬件安裝方法

a. 在安裝過程請(qǐng)保持窗口上的保護(hù)貼紙完好，在不使用的時(shí)候及時(shí)將保護(hù)貼紙貼好。

不要觸碰SLM的工作區(qū)域（窗口）

b. 在接線前確保控制器開關(guān)關(guān)閉。

拆裝任何部分、插拔電源線、插拔電源適配器之前，請(qǐng)確認(rèn)電源開關(guān)已關(guān)閉。

c. 按照?qǐng)D示連接接線（各插口均為防呆設(shè)計(jì)，確保用戶不會(huì)接錯(cuò)），USB 和 DVI 兩種方式 任選其一，DVI 接口所對(duì)應(yīng)軟件功能較多，USB 接口液晶刷新速度較快（USB 線不隨貨提 供，為選配）。

連接 LCOS 頭和控制器的 FPC 線時(shí)，將寫有"RELAY BOARD"的一面朝上，接入轉(zhuǎn)接板， 如下圖。將 FPC 線推到底，然后按下黑色翻蓋將其鎖緊。 在掀起或按下黑色翻蓋時(shí)， 不要只對(duì)黑色翻蓋的一端施力，防止斷裂。按下時(shí)請(qǐng)同時(shí)按住黑色蓋兩端或中間，抬起時(shí)請(qǐng) 使用指尖從中間抬起，不要使用任何硬質(zhì)工具。

如果 FPC 線沒有正常連接，設(shè)備可能不能正常工作，例如下圖非正常連接情況。

接好后，請(qǐng)蓋上轉(zhuǎn)接板上的蓋子，否則周邊的設(shè)備可能會(huì)受到電磁影響。

d. LCOS 頭的支桿安裝方法。

拆裝任何部分、插拔電源線、插拔電源適配器之前，請(qǐng)確認(rèn)電源開關(guān)已關(guān)閉。

LCOS 頭配有一個(gè) L 型底座，底座下面配有 M6 的螺孔，可以安裝 M6 光學(xué)支桿。

將L型底座從LCOS頭上拆下后，請(qǐng)注意表面沒有異物后再擰上，如有異物可以用干布擦拭。安裝時(shí)請(qǐng)均勻地?cái)Q緊四個(gè)螺絲，如果擰緊不均勻，硅基板可能會(huì)由于受力不均而損壞，不在保修范圍內(nèi)。

請(qǐng)不要拆掉LCOS頭背面的四個(gè)螺絲，拆掉后產(chǎn)品不在保修范圍內(nèi)。

3.2 （僅適用于水冷型號(hào) R/L 系列）水冷管的安裝方法（共 3 頁，非水冷用戶可跳過）

a. 如上圖所示為 R 型號(hào)（L 型號(hào)同理），連接水冷管前請(qǐng)確認(rèn)水冷機(jī)和 SLM 均處于關(guān) 閉狀態(tài)，操作時(shí)請(qǐng)小心防止水潑濺到儀器上。將 LCOS 頭放置在平穩(wěn)的操作臺(tái)上，將水 冷管插入 LCOS 頭上的水冷管接頭上，并確認(rèn)連接緊密，水冷管已經(jīng)推到底

b. 打開水冷系統(tǒng)，確認(rèn)水循環(huán)正常并且無漏水

b. 在接線前確保控制器開關(guān)關(guān)閉。

c. 確認(rèn)水流狀態(tài)，連接 SLM 并開機(jī)，保持流速大于 0.5L/min.

當(dāng)有激光照射到 LCOS 工作區(qū)域時(shí)，禁止停止循環(huán)水，否則 LCOS 頭可能會(huì)發(fā)生嚴(yán) 重的損傷。

d. 使用完畢后，關(guān)掉 SLM 及水冷機(jī)，以及一切相關(guān)儀器。

e. 確保循環(huán)水已經(jīng)停止，斷開水冷機(jī)與水冷管的連接。

f. 向一個(gè)水冷管內(nèi)充氣，直至另一個(gè)水冷管沒有水流出為止，排空 LCOS 頭水冷系統(tǒng)中 的水。

g. 將 LCOS 頭拆下，放置在平穩(wěn)的操作臺(tái)上，按下水冷管接頭上的密封圈，取下水冷 管。

h. 如果需要長時(shí)間儲(chǔ)存，請(qǐng)將水排空，待儀器干燥后方可儲(chǔ)存。

i. 水冷型號(hào) LCOS 頭的 L 型底座尺寸如圖。

j. 如果要使用底座上的安裝孔，需要先將帶水冷熱沉的 LCOS 頭拆掉。使用螺絲刀 擰掉 LCOS 頭背面的緊固螺絲。將帶水冷熱沉的 LCOS 頭從 L 型底座上拿掉，將 L 型底 座固定在光學(xué)平臺(tái)上，用干布擦拭 L 型底座的表面，使用緊固螺絲將 LCOS 頭裝到 L 型 底座上。

LCOS 頭上的熱沉（Heat sink）非常重。操作時(shí)請(qǐng)小心，摔落引起的強(qiáng)撞擊會(huì)對(duì) LCOS 頭造成嚴(yán)重?fù)p傷，由此引起的問題不在售后保修范圍內(nèi)。請(qǐng)小心操作！

3.3 軟件安裝方法

3.3.1 設(shè)置第二顯示器

a. LCOS-SLM 正確連接之后，會(huì)被計(jì)算機(jī)識(shí)別為一臺(tái)顯示器，所以需要對(duì)其進(jìn)行相 關(guān)參數(shù)的顯示設(shè)置，如果計(jì)算機(jī)原來有一臺(tái)顯示器，則 SLM 被識(shí)別為"第二顯示器 (2nd monitor)". 將參數(shù)按照下表設(shè)置。

*有的計(jì)算機(jī)會(huì)自動(dòng)識(shí)別這些參數(shù)，并將其顯示為"不可修改（灰色）"，此時(shí)只需確認(rèn)，無需設(shè)置。

b. 設(shè)置第二顯示器完成之后，打開控制器上的開關(guān)。

c. 請(qǐng)等待約20秒后， power電源指示燈常亮，LED指示燈熄滅，此時(shí)儀器處于預(yù)熱狀態(tài)，可以使用，但是精確度不穩(wěn)定。

d.儀器會(huì)預(yù)熱10分鐘，預(yù)熱后可進(jìn)行高精度調(diào)制。

3.2.2.1 LCOS control v3.0軟件

a. 軟件安裝

光盤中可以看到軟件說明書"K51-B60175_LCOS-SLM Software_Manual.pdf"供參考。

首先進(jìn)行軟件的安裝，打開"Installer"文件夾。

打開安裝程序"install.exe"

點(diǎn)擊確定之后等待安裝程序初始化。

選擇安裝位置

安裝過程需要等待幾分鐘，安裝完成后點(diǎn)擊"Finish"，此時(shí)完成了LabVIEW Runtime的安裝，"LCOS-SLM Control software"和"LCOS-SLM USB Control software"均可正常使用，另外"LCOS-SLM Control software Sample source code"文件夾中提供LabVIEW和Python兩種開發(fā)例程。

b. 打開軟件后，界面如下：

首先將波長設(shè)置為入射LCOS的激光中心波長，correction是否開啟請(qǐng)參考下面說明，然后確認(rèn)LUT開啟。

Wavefront correction 功能是針對(duì)SLM本身的表面平整度進(jìn)行的矯正，LCOS的表面平整度是通過測(cè)量有效區(qū)域內(nèi)最高點(diǎn)和最低點(diǎn)之間的差值（最大偏移量），取PV(峰-谷）值的rms. 然后針對(duì)不同的波長繪制出一張correction map圖片，在出廠時(shí)隨設(shè)備一起提供給客戶，包括了參數(shù)內(nèi)所有波長的對(duì)應(yīng)矯正圖。（測(cè)量方法詳詢qx@hamamatsu.com.cn.） 使LCOS在原有高精度的調(diào)制基礎(chǔ)上，消除儀器本身的最后一點(diǎn)誤差。因?yàn)闉I松LCOS自身的調(diào)制精度和穩(wěn)定性非常高，所以這個(gè)矯正在大部分應(yīng)用中（如CGH相關(guān)應(yīng)用）不需要添加，也有一部分用戶（如某些OAM應(yīng)用）需要添加LCOS本身的波前矯正以消除其影響。

軟件中還可以對(duì)Wavefront correction進(jìn)行Offset設(shè)置，目的是將0到2π的突變位置（相位圖0和255交界的位置）移動(dòng)到影響最小的位置，例如當(dāng)突變位置在激光照射范圍內(nèi)時(shí)，或在校正圖案的中心附近時(shí)。

c. 之后您就可以使用軟件的全部功能了。使用方法可以參考文件中的軟件說明書"K51-B60175_LCOS-SLM Software_Manual.pdf". 也可以直接在軟件中探索。

d. Add mask功能暫不支持x-shift, y-shift和rotation, 請(qǐng)使用（http://share.hamamatsu.com.cn/documentDetail/1855.html）中的方法對(duì)加載的相位圖進(jìn)行這類操作。

3.4 驗(yàn)收方法（無光路）

a. 完成上述軟硬件安裝后，雙擊打開軟件，將 correction和LUT關(guān)閉（此時(shí)觀察效果最明顯），如圖。

b. 加載LG Beam任意參數(shù)，例如下圖。

c. 轉(zhuǎn)動(dòng)SLM到一個(gè)合適的觀察角度，可以觀察到液晶的排列顯示出圖片中的圖案，證明儀器正常工作。

3.5驗(yàn)收方法（CGH加簡(jiǎn)單光路）

a. 按上圖所示搭建簡(jiǎn)單光路，注意光強(qiáng)閾值，完成軟硬件安裝，關(guān)閉Correction（CGH應(yīng)用中關(guān)閉波前矯正光斑更清晰），打開LUT，設(shè)置LUT波長。確認(rèn)Additional phase中所有選項(xiàng)關(guān)閉。

b. 點(diǎn)擊Target image address for CGH右側(cè)的按鈕，在彈出的窗口中找到軟件安裝包文件夾中"LCOS-SLM_Control_software_xxxx（SN號(hào)）"的子文件夾"Image sample", 選中第一張圖片"HPK"，點(diǎn)擊確定。

c. 設(shè)置Repetition數(shù)值（Repetition是指IFTA迭代次數(shù)，數(shù)值越大計(jì)算時(shí)間越長，對(duì)計(jì)算機(jī)內(nèi)存要求越高。），點(diǎn)擊Calculate CGH，等待進(jìn)度條走完。

d. 點(diǎn)擊Fresnel Lens. 設(shè)置Fresnel Focus/mm為+500. （聚焦為正值，發(fā)散為負(fù)值）將Fresnel Lens OFF/ON開關(guān)打開。

e. 此時(shí)在距離SLM大概500mm的位置，就可以看到清晰的HPK圖像了。這步證明SLM工作沒有問題，就可以完成驗(yàn)收了。如果光斑HPK字樣不清晰，請(qǐng)參考文末"常見故障排除"最后一條關(guān)于LUT的調(diào)節(jié)。

4.使用說明

4.1 光路搭建注意事項(xiàng)

·入射SLM的光為平行光,入射角小于10°

·入射光強(qiáng)禁止超過SLM的閾值

·建議準(zhǔn)直后入射SLM，同時(shí)使光斑擴(kuò)束，盡量充滿SLM窗口。

（使光斑充滿SLM窗口的目的是充分利用更多的液晶單元，提高分辨率，但如果應(yīng)用需要，在不超過光強(qiáng)閾值的情況下也可不充滿SLM窗口，例如光斑直徑φ2mm；或者超出SLM窗口在SLM前用光闌過濾，若不使用光闌，被SLM窗口外的機(jī)械部分反射的光可能會(huì)造成雜散光干擾。）

4.1.1 正入射光路

沿法線方向入射是可以通過光路實(shí)現(xiàn)的，但是需要使用分光器件（Beamsplitter）和偏振器件，而這些器件的加入會(huì)導(dǎo)致光路更復(fù)雜，同時(shí)造成大量的光能損失。

4.1.2角度入射光路

SLM為反射式，這樣我們?cè)谠O(shè)計(jì)光路的時(shí)候，通常使入射光和反射光（調(diào)制后的光）接近，但是稍微偏離法線（角度建議小于10°） 。

注意，持續(xù)時(shí)間Duration time/msec表示從PC上發(fā)送幀切換命令到執(zhí)行下一個(gè)命令循環(huán)的等待時(shí)間。 根據(jù)PC的狀態(tài)，可能會(huì)發(fā)生幾毫秒的時(shí)滯。

5.用于激光加工的光路搭建示例

在設(shè)計(jì)加工光路時(shí)，需要將SLM成像到光學(xué)系統(tǒng)的加工平面上，通常是成像到聚焦物鏡的瞳面上。由于SLM加載到加工光束上的相位/振幅分布會(huì)產(chǎn)生衍射，光束輪廓（作為傳播距離的函數(shù)）就會(huì)產(chǎn)生畸變。因此需要使用4f系統(tǒng)在瞳面處真實(shí)重現(xiàn)SLM調(diào)制的相位和振幅。

6. Trouble shooting 常見故障排除

6.1 控制箱上LED7燈閃爍

該現(xiàn)象說明儀器處于DVI模式且沒有DVI信號(hào)輸入，請(qǐng)檢查以下幾項(xiàng)。

a. 確認(rèn)DVI線（DVI-DVI, DVI-HDMI, 或DVI-USB）正確連接，并重新插拔DVI線。

b. 確認(rèn)第二顯示器設(shè)置正確，計(jì)算機(jī)處于投影儀擴(kuò)展模式，計(jì)算機(jī)未待機(jī)。

c. 某些計(jì)算機(jī)型號(hào)或顯卡型號(hào)可能不支持，可以更換DVI-USB外接顯卡嘗試（某些品牌外接顯卡需要安裝驅(qū)動(dòng)，詳詢USB顯卡商家）。

d. 由于Windows系統(tǒng)的顯示設(shè)置，導(dǎo)致無法正確發(fā)送DVI信號(hào)給SLM，設(shè)置顯卡選項(xiàng)為"保持縮放比"，如下圖。

6.2 無法正確對(duì)光進(jìn)行調(diào)制

a. 檢查光路是否符合安裝說明中的要求，偏振方向是否和液晶同向（一般為水平方向）。

b. 檢查軟件是否安裝了儀器包裝內(nèi)光盤里的軟件版本，如果是其他地方獲取的軟件，將導(dǎo)致調(diào)制不準(zhǔn)確，需要校準(zhǔn)，詳情咨詢?yōu)I松技術(shù)人員。

c. 檢查波長設(shè)置是否正確。

d. 檢查相位圖是否進(jìn)行波長相關(guān)的校準(zhǔn)，包括儀器波前矯正及LUT矯正，如果使用光盤中的軟件，按照軟件使用說明操作即可，如果使用其他軟件，請(qǐng)咨詢?yōu)I松技術(shù)人員。

6.3 計(jì)算機(jī)檢測(cè)不到第二顯示器

a. 如果是臺(tái)式機(jī)，檢查是否將儀器接在了正常工作的DVI接口上，如果是將其他接口（如VGA，HDMI）轉(zhuǎn)換成DVI接口的，因適配性的原因有可能不可用，建議更換有DVI接口的主機(jī)；如果是筆記本，檢查DVI-USB轉(zhuǎn)換器是否損壞，檢查轉(zhuǎn)換器的驅(qū)動(dòng)是否正常安裝，如果不行，更換有DVI接口的臺(tái)式機(jī)。

b. 檢查儀器是否開機(jī)，是否連接正確。

6.4 液晶一半正常，一半亂碼或不顯示

FPC線沒有插緊，請(qǐng)關(guān)機(jī)后重新連接FPC線和轉(zhuǎn)接板，并蓋上轉(zhuǎn)接板蓋子。

6.5 inspection sheet 中的LUT值不正確

在DVI連接情況下，可能會(huì)由于計(jì)算機(jī)的護(hù)眼模式對(duì)視頻信號(hào)的調(diào)整，導(dǎo)致LUT值不準(zhǔn)確。記下現(xiàn)在的LUT值。

此時(shí)可以通過LG beam功能來判斷LUT值是否正確，調(diào)節(jié)LUT為手動(dòng)模式。

嘗試不同的LUT值直到找到最優(yōu)值，看是否和剛才記下的值一樣。例如使用一張白紙來觀察調(diào)制后的532nm光斑，p=4時(shí)下圖左為LUT值最優(yōu)，圖右為LUT值偏差較大。

如果偏差值較大，請(qǐng)關(guān)閉電腦管家類軟件的護(hù)眼模式，并校準(zhǔn)顯示器顏色（例如下圖一直點(diǎn)下一步）。