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THEMOS mini 熱發射顯微鏡是一種功能齊全,小型化的熱發射圖像分析系統,配有InSbHS攝像頭。
THEMOS mini 可檢測半導體器件內部產生的熱量,并將其顯示為疊加在圖案上的圖像,以便快速定位缺陷。
當與具有長工作距離的紅外物鏡一起使用時,可快速、平滑地探測樣品晶片。
THEMOS mini是熱發射分析的非常合適的入門型號,可廣泛用于半導體材料和PC板宏觀觀察以及半導體器件的微觀觀察。
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